技术编号：5991486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及可提供动力的气动装置，尤其涉及一种气动装置及真空检测设备。背景技术液晶显示面板是由阵列基板和彩膜基板对盒后填充液晶而形成，其中阵列基板是单独制作而成，通常在制作完阵列基板后，为了检测阵列基板的一些性能是否符合要求，还需要利用真空检测设备对阵列基板进行检测。真空检测设备包括真空腔室，真空腔室的内部设有放置阵列基板的上平台，上平台通过运动机构的动作可以在真空腔室内分别沿X、Y、Z这三个互相垂直的方向运动，其中，沿X、Y方向的运动为平面运动，且通过...
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