技术编号：5992344
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高温多晶硅压力传感器[0001]本实用新型涉及一种压力传感器，特别是涉及一种高温多晶硅压力传感器。背景技术[0002]高温压力传感器因其特殊的高温应用环境而日益受到人们的重视。在石油、化工、 冶金和航空航天等领域，有时必须在高温环境下测试压力。普通压阻式压力传感器中力敏电阻依靠硼扩散利用p-n结隔离形成，温度升高，反相漏电便明显增加，超过150°C后p-n 结隔离便失效。要提高压力传感器高温性能的最佳途径是废除力敏电阻的P-n结隔离，用绝缘层来代替P-n结...
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