技术编号:5994021
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及到同时测量厚度与折射率的激光干涉测量仪,特别适用两表面都有反射或后向有散射的物体。由于通过干涉仪测量物体的厚度获得的是由光程差决定的光学厚度,所以很有必要寻找一种装置精密测量物理厚度和折射率。美国麻省理工大学的Tearney G.J等人提供了基于光学相干层析成像系统的同时测量物体物理厚度和折射率的装置,(参见在先技术[1]G.Tearney,M.Brezinski,J.Southern,B.Bouma,M.Hee,and J.Fujimoto...
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