技术编号：5994022
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种小光斑物镜的检测仪。小光斑物镜指大数值孔径NA(＞0.5)的物镜，如光盘驱动器物镜，光盘母盘刻录机物镜，显微物镜以及光刻物镜。检测小光斑物镜，包括其光强分布、大小、形状和偏振状态，是检验小光斑物镜质量的最直接因而最有效的参量。因为小光斑物镜的作用就是将激光束会聚成一个小光斑。小光斑的光强分布、大小、形状和偏振状态直接影响就像光盘驱动器的读写性能或光盘母盘刻录机刻出的母盘的质量。在先技术中对小光斑的检测比较好的是采用光学系统光远场参量的检测装...
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