技术编号:5994548
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶体生长设备领域,更具体的说是涉及一种36对棒多晶硅还原炉电源功率控制器。背景技术目前,国家能源部已充分认可太阳能发电远景工程,太阳能发电作为新兴能源项目,潜力巨大。除此,随着科技的不断发展,多晶硅在手机、数码产品、电视机以及平板显示器等电子产品中得到了广泛的应用,其产业链也得到了飞速的发展。多晶硅的制备设备通常为还原炉,其中,还原炉电源控制系统为其核心部分。目前,国内多晶硅行业的还原炉几乎为俄罗斯以及乌克兰进口的晶体生长炉,这些设备价格昂贵...
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