技术编号：5994565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种球面反射率测定装置[0001]本实用新型涉及一种测量光学薄膜和半导体等薄膜的膜厚和反射率的装置。背景技术[0002]光学薄膜和半导体等薄膜的膜厚和反射率需要通过球面反射率测定装置进行测 量。球面反射率测定装置的反射镜3，采用镀膜方法，使光线一半透射，一半反射。当一束入 射平行光(光照强度为10)照射到与之呈45角的上述反射镜后，仅有一半的光经反射后转 90角向下作为检测用的有效光照，另一半的光经透射后白白浪费掉。向下作为检测用的有 效光线通过物镜聚光后...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。