技术编号:5994869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种监控系统,具体涉及一种全自动高精度光学镀膜机用光学膜厚监控系统。背景技术薄膜是一种全自动高精度光学真空镀膜机,可广泛应用于装饰品、金属切削加工工具、玻璃、平板显示器、太阳电池、防伪技术、飞机防护涂层、光学仪器、信息存储、传感器、集成电路制造等领域,实现高精度高性能的镀膜。目前的真空镀膜机,其膜厚控制系统主要关注的重点是膜层厚度的控制精度,薄膜厚度的准确监控直接影响着薄膜的透、反射光谱特性和偏振特性,但随着薄膜应用的高速发展以及其应用领域不...
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