技术编号:5995100
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种加速度计[0001]本实用新型涉及传感器领域,尤其涉及一种加速度计。背景技术[0002]现今,加速度计可适用于诸多应用,例如在测量地震的强度并收集数据、检测汽车碰撞时的撞击强度、以及在手机及游戏机中检测出倾斜的角度和方向。而在微电子机械系统(MEMS)技术不断进步的情况下,许多纳米级的小型加速度计加速度计已经被商业化广泛米用。[0003]常用的MEMS的加速度计分压阻式和电容式两种,压阻式加速度计例如申请号为 200480003916. 公开日为200...
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