技术编号:5995765
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子元器件无损检测,尤其涉及一种氦质谱背压检漏充氦加压节气节能装置。背景技术电子元器件的氦质谱背压检漏首先要对元器件加压充氦,然后在用氦质谱检漏仪检测漏率值。在加压充氦步骤,要将被检元器件放置在氦气加压室内,预先对氦气加压室抽真空至压力小于lkPa,再将高纯度的氦气充入氦气加压室内,按规定的时间持续保压,在实际工作中,往往会遇到元器件数量很少,无法装满整个氦气加压室的情况,如果直接进行充氦加压,则需要用较长的时间才能把氦气加压室预抽空至压力小...
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