技术编号:5996985
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于集成电路支撑行业半导体硅片加工制造领域特别涉及一种基于电子天平的硅片自动计片装置,适用于半导体硅片称重计数。背景技术半导体硅片制造行业属于集成电路支撑行业,一直以来,都是作为重点支持产业和战略新兴产业,而半导体硅片的片数统计,长期以来均由人工点片合计完成,人工点片不可避免的会产生数据错误,在半导体行业这个生产上极度严谨的领域,片数错误极大影响产品形象;也为生产数据追溯产生不利影响;此外,人工点片还会增加硅片表面擦伤,增加检验损耗。光伏行业是近...
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