技术编号:5997056
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体性能测试领域,尤其涉及一种半导体光、电、磁及其相互耦合性质的综合表征方法。背景技术当前在半导体领域,光电技术发展迅速,比如LED产业,蕴含着一场新的技术革命,可能会建立起一个全新的产业体系;在通信领域,3G信息时代的到来,计算机、互联网络的快速发展,均离不开半导体产业的迅速发展。而半导体产业的发展离不开先进的测试技术。光、电、力、磁是材料表征的4个基本方面,尤其是光、电、磁的性质,更是半导体材料和器件非常重要的参数。而目前的商业设备一般...
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