技术编号:5999946
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及非接触表面形状测量方法。 背景技术为测量精密部件的形状或者光洁度而使用使用了激光自动聚焦的激光探针式的非接触表面形状测量装置。即是这样的结构对作为测量对象的工件的上表面实施使用激光的自动聚焦控制,并按照每一预定的间距在水平方向上扫描测量工件,根据自动聚焦光学系统的物镜的聚焦方向上的移动量取得关于测量工件的表面形状的测量数据。如在日本国专利第212M98号中公开的那样,控制物镜使得在双部分传感器 (two-section sensors)的中心接受...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。