技术编号:5999959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及传感系统,并且更特别地涉及微机电传感器(MEMQ装置和使用该MEMS装置的远程传感系统。背景技术MEMS装置的重要应用中的一个是在测量例如压力和温度等环境状况方面。MEMS 装置中的传感元件的机械特性根据它们设法测量的这些环境状况而改变。机械特性中的该改变影响该装置的机械谐振(mechanical resonance)并且该效果用于测量该环境状况。 用于测量环境状况的MEMS装置的一个类型包括集成有电子设备的传感元件。该传感元件一般是机械结...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。