技术编号:6000656
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术白色扫描干涉计成为图10所示的光学系统。在图10中,白色光源1101是例如卤素灯那样的照射宽频带的波长分布的光的光源。从白色光源1101照射的白色光向半透半反镜1102入射。半透半反镜1102对光进行分割,将光导向试料1103和参照面1104。这些光分别向试料1103和参照面1104入射,进行反射,然后再通过半透半反镜1102重合。重合后的光向面传感器1105入射。此时,沿图的箭头1110方向扫描参照面1104并同时利用面传感器110...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。