技术编号:6000806
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。更为具体地,涉及一种利用正弦波干涉条纹的相位差,检测配置在基板上的焊锡球的高度的。背景技术通常,利用穆尔干涉条纹的三维形貌检测装置通过使在所要检测的被检测体的表面照射一定形状的光线而显出的格子条纹和作为基准的格子条纹重叠而形成穆尔干涉条纹后,检测及分析所述干涉条纹,以检测对于基准面的检测对象的高度。这种三维形貌检测装置能够简单快速地获得被检测体的三维形貌,因此在医学、工业等领域得到广泛的应用。利用穆尔干涉条纹检测三维形貌的方式大致可分为投影...
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