技术编号：6001247

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本发明涉及半导体X射线辐射传感器在扫描电子显微镜(SEM)或类似的分析电子束仪器中的集成，可选与背散射电子传感器结合。本发明涉及配置探测元件和显微镜以便实现在构造的性能和经济性上的改进以及其它益处的新颖方法。背景技术安装固态能量色散X射线(EDX)探测器到电子显微镜上首先由菲茨杰拉德 (Fitzgerald)、凯尔(Keil)和海因里希(Heinrich)在1968年报告。所描述的探测器类型是从电子探针微分析仪(EPMA)的端口引入的锂漂移硅(Si (Li...
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