技术编号：6002982
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对半导体器件进行试验的试验装置。背景技术在制造半导体器件之后，为了试验该半导体器件是否正常工作，采用半导体试验装置(下面也简称为试验装置)。试验装置接收从DUT (被测器件)输出的信号(被测信号)，将该信号与期待值进行比较，从而判断DUT是否合格(Pass/Fail)，或者测定被测信号的振幅容限或定时容限。DUT 有时内置有 PLL (Phase Locked Loop,锁相环)电路或 DLL (Delay LockedLoop，延迟锁定环)...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。