压力传感器及其封装方法技术资料下载

技术编号:6003146

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本发明总体上涉及压力传感器封装,并且更特别地涉及组装方形扁平无引脚 (QFN)压力传感器封装的方法。背景技术压力传感器和压力传感器封装是众所周知的,并以多种尺寸和结构出现。压力传感器管芯(die)通常具有易在搬运和封装期间受到机械损坏的薄差动压力感测膜。因此, 这些传感器管芯通常被安装在预模制封装中并使用单独的覆盖体或盖密封在封装中。封装压力传感器管芯的一种方式是将管芯安装到预模制引线框并用模塑料(mold compound)来封装管芯。然而,诸如压阻式换...
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