技术编号：6003384
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电容测量电路，尤其是一种微机电系统(MEMQ设备的电容测量 电路。背景技术该背景说明是用于大致叙述本发明公开的背景。针对该背景部分描述的技术程度 以及本发明的说明书中的内容在本发明申请日前也未被授权成为在先技术，故相对现有公 开本发明的发明人的所做的工作既没有明确地也没有隐含地被视为在先技术。如图1所示，微机电系统(MEMS)设备10可以用于调整相机14中透镜阵列12的焦 距。比如，透镜阵列12通常包括固定透镜22和M以及一个设置在其间的可移...
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