技术编号：6003436
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及湿度敏感传感器元件及其制备方法。 背景技术工业的发展和人们对舒适环境的追求对低成本、高性能的湿度传感器的需求日益增加。目前常用的湿度传感器分为电阻式和电容式两类。其中电阻式湿度传感器的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在膜上时，元件的电阻率和电阻值会发生变化，利用这一特性即可测量出湿度的不同。日本的中山享等人(Susumu NAKAYAMA, Hiroshi KUROSHIMA, Humidity Sensor Usi...
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