技术编号：6005532
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，特别是涉及一种接收由被照射激光的微粒产生的散射光来测量微粒数的。背景技术以往，在对晶圆(wafer)进行处理的基板处理装置等中，为了掌握处理室内部、排气管内部的状况而对在处理室内部、排气管内部移动的微粒的数量进行测量。在微粒数的测量中通常使用ISPM(In Situ Particle Monitor 原位粒子监测仪)。ISPM至少具有激光振荡器和光检测器，将所接收的散射光转换为电信号并根据电信号的强度等来测量微粒数，其中，上述激光振荡器向处...
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