技术编号:6005911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术非球面元件能有效地消除像差、提高光学系统的成像质量、减轻系统重量、提高系统稳定性等优点,越来越得到广泛的应用。但是由于现有的加工和检测水平限制了高精度非球面的发展。非球面各个参数特别是顶点球曲率半径在加工、检测和装调中都是重要的参数,对成像质量和系统稳定性有很大的影响,特别在高精度光学系统如光刻系统中影响尤甚。如附图3非球面在透射光学模型中,非球面顶点球曲率半径随着偏移量的变化曲线图4所示,非球面顶点球曲率半径越小越灵敏,对精度要求越...
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