技术编号：6005923
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于物质成分测定的离子阱质谱仪领域，特别涉及一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法。背景技术离子阱质谱仪(ITMS)是一种便于小型化和实现在线快速现场检测未知物质成分的分析检测仪器，应用在食品安全，环境监测，科学研究，国防安全等众多领域。离子阱质量分析器是ITMS的关键部件，用来捕获和筛选离子。离子阱质量分析器的好坏直接决定了 ITMS的性能，同时离子阱质量分析器的结构和加工难易程度直接影响了 ITMS的成本。平板线型离子阱质...
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