技术编号：6006479
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微纳米测温，特别是一种基于电子束扫描显微镜环境下的微纳米区域温度测量系统及测量方法。背景技术众所周知，日常使用的材料及电子元件大部分特性都随温度而变化。目前，随着集成电路的微小型化，互连导线和元器件等的特征尺寸越来越小，甚至达到纳米级。因此温度变化对于电子元件性能，可靠性，寿命等的影响越来越不容忽视。但是受到目前技术、工艺等条件的限制，不能精确测定所关注的微纳米区域的温度；通常采用的方法是测量基底的温度然后通过理论计算模拟出温度的分布。模拟过程中...
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