技术编号：6006563
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种确定数据点分布区域是否分布在特定的确定区域内的识别方法及存储使得计算机执行该识别方法的程序的记录介质。背景技术半导体器件(又称芯片)是通过各种处理制造的。在各种处理过程中的多种缺陷都会导致质量的降级和半导体器件的生产率的降低。在这个方面，为了改善并稳定生产率， 在预定处理之后执行图案缺陷检查和颗粒(污染物)检查以核对缺陷的存在。另外，在每个处理中，在形成了图案之后，对晶圆上的每个芯片都执行电特性测试 (晶圆测试)以检测缺陷。对于作为检查或测试...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。