技术编号:6006617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成电路故障诊断,具体涉及一种新型的基于流体电光材料的电光探头及应用该电光探头对集成电路表面电场进行探测的方法。背景技术随着集成电路制造业的发展,芯片的集成度越来越高,运行速率越来越快,门限电压越来越低,对集成电路测试特别是故障诊断提出了严峻的挑战。集成电路的故障诊断就是要找出引起故障发生的地点或原因,从而为集成电路的设计和制作工艺的改进提供帮助。因此,故障诊断对提高集成电路可靠性有重要意义,也一直是微电子研究工作的重要方面。目前,集成电路故障诊...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。