技术编号:6007013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及自动化机器人控制的传感器领域,特别涉及一种用于姿态监测和控制的硅微机械倾角传感器。背景技术倾角传感器是一种用于姿态监测和控制的传感器,在卫星、导弹、坦克、火炮、飞机、汽车、舰船、地质石油勘探、建筑施工、机器人的陆地和水下作业等各种军事及民用领域有极为广泛的应用。传统的倾角传感器尺寸较大,不适用于对体积和重量有一定限制的领域,目前国内外已经研制出一种热对流式硅倾角传感器,但这种传感器功耗较大,抗侧向耦合干扰能力弱,响应较慢。发明内容本实用新型的...
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