技术编号:6007266
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于辐射试验,涉及半导体材料和器件性能的测试装置,具体涉及一种可用于X射线、Y射线辐射实验的多功能探针台测试系统。背景技术半导体工业已是当今工业的中流砥柱。随着航空微电子、军用微电子技术的发展, 各类半导体材料和器件已经广泛地被开发和应用于航天航空飞行器,核控制系统中。然而, 特别的是,这些微电子设备面临着强辐射环境的影响,诸如空间辐射,人造辐射。辐射作用会影响它们的可靠性,进而使部分甚至整个电子系统发生故障。因此,为了使这些特殊的微电子器件在恶劣的...
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