技术编号:6007633
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电系统的装置及方法,具体是一种。背景技术静电悬浮微加速度传感器不同于一般带支撑梁的微机械加速度传感器,它采用静电悬浮的方式使检测质量和上下定子间没有机械连接,大大减少了传感器的热噪声,提高了加速度计的分辨率和灵敏度。它采用MEMS微加工技术制造,利用微小电容检测技术测量悬浮质量块和电极之间的变化电容经信号处理得到三轴线加速度和三轴角加速度。经过对现有技术的检索发现,采用MEMS技术制造,利用静电悬浮技术测量加速度的微加速度传感器有美国...
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