技术编号：6007823
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种三维形貌光学测量系统。 背景技术当并行共焦测量系统采用Mpkow转盘、微针孔阵列、微光学器件(如微透镜阵列) 等对光束进行分割时，虽然构建的测量系统精度较高，但如果光源是频带宽度很窄的激光， 则必然会因为泰伯效应而出现多个焦面，且焦面与焦面之间无特性差异，使并行共焦测量系统自身辨识不出正焦面，无法进行测量；当并行共焦测量系统采用数字微镜器件DMD对光束进行分割时，会在空间中形成DMD自身的衍射图案、DMD所显示图像的实像及虚像，而最终CCD所...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。