技术编号:6008203
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种微小颗粒异物的检测技术,尤其涉及对液晶显示器及微电子生产领域中基板表面上的异物进行检测的装置和方法。背景技术在泛半导体生产领域中,例如在液晶显示器生产过程中,许多精密生产设备需要在距基板超近距离(通常为若干微米)的条件下进行非接触工作。在这种情况下,如果玻璃基板上存在异物,并且有些异物的高度超过该设备与基板之间的工作距离,将导致该超高的异物对精密生产设备的非正常接触和挤压、以及异物粘连,从而引起该精密生产设备 的损伤,以及对后续加工品的连续破...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。