对空间噪声具有低敏感性的电磁辐射探测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6008332

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本发明涉及电磁辐射探测装置领域,其有利地应用于基于辐射热计或微辐射热计的红外辐射测量装置,但本发明也涉及基于光电二极管或光电导体的电磁辐射测量装置。 本发明使用范围尤其涵盖电子视网膜(也称为成像仪)的制造,其可由大量单元探测器 (elementary detector)形成。微辐射热计是指其至少一个维度的尺寸是微米级的辐射热计,尤其是指其制造用到微电子技术或微米技术和/或纳米技术的辐射热计。背景技术用于侦测和成像电磁辐射的最先进的探测装置使用在至少一行和/...
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