等应力梁法检测石墨烯压阻因子的制作方法技术资料下载

技术编号:6009478

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本发明涉及的石墨烯压阻因子的检测方法,属于检测。 背景技术石墨烯(Graphene)是由单层呈正六边形分布的碳原子构成的具有蜂窝状晶格结构的一种二维碳质新材料,这种结构在平面内无限重复、周期分布,但是在垂直于分布平面的厚度方向上只具有纳米尺度。这种单原子厚度的碳膜结构异常紧密、严整,几乎没有任何缺陷,能稳定存在并展现出许多令人惊讶的物理、化学特性特点,在新能源、检测、微传感器等领域有重要的应用价值。检测石墨烯压阻性能是压阻型石墨烯微纳传感器研制的基础。常规...
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