技术编号：6009750
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密计量，具体涉及一种。背景技术球体直径绝对精密计量在阿伏伽德罗常数精确测量等计量学领域有着广泛的应用需求。利用X射线晶体密度法精确测量阿伏伽德罗常数时，需要对直径约为94mm、质量约为Ikg的单晶硅球直径进行精密测量，从而计算硅球的球体积。由于硅球加工工艺的提高，其圆度已优于lOOnm，表面粗糙度已优于0. 2nm，通过理论分析得到，硅球平均直径计算球体体积时由硅球圆度所引起的误差将远小于平均直径的测量误差，所以提高硅球直径测量准确度是继续提高...
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