利用角、光谱、模态和偏振分集的用于高精度感测的紧凑形式导模共振传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6009792

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本公开提供了以周期性结构工作在共振漏模的光学传感器,其中,角分集、谱分集、模态(modal)分集和偏振分集被有利地以紧凑系统形式应用于高精度感测。这样所获得的、被拟合到数值模型的交叉参照数据集提供增加的精确度和准确度,以在各种各样的应用中增强感测操作的质量。相关知识的描述用于生物和化学检测的多种光学传感器在商业上已经被开发出来,并见诸于研究文献中。实例器件包括表面等离子体共振传感器,基于MEMS的悬臂传感器,共振镜,布拉格光栅传感器,波导传感器,波导干涉型...
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