技术编号:6010144
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域,即采用干涉仪检测圆孔衍射出的参考球面波偏差的方法。背景技术极紫外光刻投影物镜中包含若干个非球面,各非球面的抛光精度必须达到0. 2nm RMS 0. 3nm RMS。普通商用斐索干涉仪或泰曼-格林干涉仪由于受参考元件的限制,其检测精度远远无法满足这种超高精度检测任务的要求,点衍射干涉仪(PDI)通过小孔衍射来产生参考球面波,可以实现超高精度的检测,PDI所能达到的检测精度主要取决于参考球面波的质量。实际中,如何去检...
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