技术编号：6010158
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶圆检测装置及方法，尤其涉及一种用于检测太阳能电池用晶圆的。背景技术随着对于能源的需求增加，与太阳能电池相关的产业与技术亦蓬勃发展。其中，在制造出太阳能电池用的晶圆之后，此些晶圆必须先经过检测的过程以确保其品质，避免具有破损或表面不均匀等瑕疵的晶圆进入后续制程中。光致发光成像法(photoluminescenceimaging, PL imaging)为一种常见用以监测半导体材料的能阶或品质的技术。其应用在太阳能电池的制造时，主要为用来检测太...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。