技术编号：6010502
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种加速度传感器芯片，具体涉及。背景技术当前由于MEMS技术的发展，基于不同敏感原理的加速度传感器被设计与制作出来，并得到了广泛的应用。不同的敏感原理的加速度传感器有着不同的优缺点。比如说压电式加速度传感器的工艺与性能已经成熟化，在市场上得到了广泛的应用，但因为敏感原理限制，压电式传感器不能感知静态的加速度值，且输出为电荷信号需要专有后续辅助电路； 电容式加速度传感器的灵敏度高、温度漂移小、功耗低、稳定性好，但其单位输入加速度引起的电容变化量极小...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。