技术编号：6010633
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械惯性传感器，尤其涉及一种微机械陀螺带宽与标度因子的测量方法及系统。背景技术微机械陀螺是用微电子工艺加工的特征尺寸在微米量级的器件，用于测量载体的角速度，其体积小、成本低、适于批量加工及易与ASIC集成，属于惯性传感器。有着广泛的应用前景和迫切的市场需求，目前已成功应用于汽车、消费类电子等工业、民用领域以及惯性制导和战术导弹等军用领域。微机械振动式陀螺一般有两个轴向驱动轴向和检测轴向。正常工作时，须保证陀螺在驱动轴向上作恒幅振动，当沿陀螺的敏...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。