流体探针的制作方法技术资料下载

技术编号:6011504

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流体探针本发明涉及一种用于流体性质测定的探针,并且涉及这种探针的制造和使用方法。尽管未限制,但是该探针适于测定流体诸如血液的粘度的相对变化。使用微观挠性机械结构例如微悬臂的传感器是已知的。微悬臂是其中可以将在微观微悬臂的机械性质上的变化用于检测微悬臂的环境中的变化的装置。微悬臂由材料例如硅,氮化硅,玻璃或金属制成,典型使用微加工技术。例如,US6,575,020描述了集成在微-液体操作系统(micro-liquid handling system)中的各种...
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