技术编号:6014148
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检测装置 ,尤其是一种压力传感器检测装置。背景技术公知的压力传感器一般是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的压阻压力传感器传感器。压阻压力传感器由于其工作方式的特殊性,使得其封装外形与传统的芯片外形存在不同,加之实际应用环境以及供应厂商的区别导致每种压阻压力传感器的外形差异也很大。在集成电路测试系统内,每种压阻压力传感器测试的实际需求量不大,但大多数的压阻压力传感器测试的电气性能参数差异基本不大。如果为每种不同封装外形的压阻压力传感器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。