压电驱动电容检测微固体模态陀螺的制作方法技术资料下载

技术编号:6014461

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本发明涉及的是一种微机电的微陀螺,具体是一种压电驱动电容检测微固体模态陀螺。背景技术在过去的一个世纪里,陀螺技术经历了一系列的革命性发展历程。20世纪初, Elmer Sperry发明了陀螺罗经,并将它应用在航海导航中。20世纪50年代,已经实现了采用框架陀螺和加速度计系统来感应飞行器的六自由度运动。这些早期的陀螺系统只用于方位参考,因此对它们没有较高的精度要求。由于框架式陀螺系统的高复杂性和高费用,20世纪70年代开始兴起发展捷联式惯性参考系统。要想获得...
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