技术编号：6014833
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及应用在测量中的微力加载装置。 背景技术随着现代科学技术的蓬勃发展，需要微小力值的场合越来越多，例如微机电系统中微尺度下构件的力学特性研究、微观摩擦现象测量、微传感微机器人装配中微力检测等， 因此，微力传感器的研究、制作、生产也就随之开展而来。但是相对其研究制作，微力传感器本身的性能测量发展显得相对滞后。目前常规使用的滑轮砝码方法无法进行微力加载力； 已有洛伦兹力和静电力标定方法，因受影响的因素较多带来不稳定性；近年来利用压电元件产生微力的应用越来...
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