无胶封装的高稳定性光纤法-珀压力传感器及制作方法技术资料下载

技术编号:6015522

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本发明涉及光纤压力传感器,该传感器可以用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力,也可用于声波,超声波信号等的探测。背景技术光纤法布里-珀罗压力传感器是光纤压力传感器中的一种,它通常由光纤端面和膜片端面构成法布里_珀罗微谐振腔,当压力作用在膜片上将使膜片变形,而使得法珀腔长发生变化,从而实现传感。近年来提出了一些设计方案,如2001年Don C. Abeysinghe 等(Don C. Abeysinghe, Samhita Dasgupta, Joseph ...
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