技术编号:6015654
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了,属于微电子机械系统(MEMS)的。背景技术在微波技术研究中,微波功率是表征微波信号特征的一个重要参数,微波功率的测量在无线技术应用中具有重要的地位。近年来,随着MEMS技术的快速发展,基于热电偶的微波功率传感器是被广泛应用的器件之一。其工作原理为利用终端匹配电阻吸收输入待测的微波功率而产生热,并通过放置终端匹配电阻附近的热电堆探测该匹配电阻附近的温差,并将之转化为热电势输出,实现微波功率的测量。它具有低的损耗、高的灵敏度和好的线性度的优点,然...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。