技术编号：6015683
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种失效分析的方法，特别涉及一种获取聚焦离子束加工截面样品图像的方法。背景技术在失效分析的分析工具中，聚焦离子束仪作为一种重要的纳米微科加工工具，广泛地应用于小尺寸结构分析、物理曲线点截面切割、透射电镜样品制备等领域。聚焦离子束是将液态金属Ga+离子源产生的离子束经过离子枪加速、聚焦后照射于样品表面，用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微米、纳米级表面形貌加工。通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属氧化硅层或者沉积金属层。...
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