技术编号：6016391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对真空环境的气氛进行非在线气氛分析技术，尤其涉及一种利用吸附剂的吸附作用对气氛进行采集封装后，再通过质谱系统加温手段使吸附的气体重新释放， 以进行分析、明确气氛种类的用于气体取样的吸气剂装置。背景技术真空系统中的各种气氛对装置的性能以及真空器件的性能影响很大。为了分析气氛对装置性能的各种影响，一般对于玻璃、金属壳体的真空器件，通过附加特殊开孔装置， 将分析对象连接到高真空的质谱系统上进行开孔取气分析或采取在系统上安装质谱分析系统进行在线、实时气氛...
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