超快电子器件测试系统及方法技术资料下载

技术编号:6017667

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本发明特别涉及一种,用于测量响应时间达到GHz 以上的高速电子器件的响应时间和带宽,属于微电子测量。背景技术目前测试电子器件响应时间的普遍方法是测试电子器件的带宽,即通过给电子器件输入等幅度的一系列频率的正弦信号,再测量电子器件输出正弦信号的幅度,当输出信号的幅度随着输入频率的提高而降低到低频的0.7倍时,这个频率为电子器件的带宽。然而前述响应时间的测量方法均需采用比器件响应快得多的设备来实现,当电子器件的响应时间达到GHz以上后,就很难寻找到适合测量其带...
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