技术编号：6017909
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及红外探测器领域，特别涉及一种集成有聚能微透镜阵列的红外焦平面 阵列及其制作方法。背景技术红外成像技术在民用和军用领域都有极为广泛的应用，一直是军事领域不可替代 的实用技术之一，如用于远距离警戒系统以及武器瞄准系统、单兵便携式夜视仪、头盔夜视 仪以及红外搜索与跟踪系统等，而红外焦平面阵列IRFPA(infrared focal plane array, 红外焦平面阵列)的设计又是红外成像系统中的最为核心的一项技术。IRFPA的焦平面上 排列着光敏元...
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