技术编号：6018621
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学薄膜检测方法，特别是指一种三维微位相差膜 (micro-retardation film)的检测方法及系统。背景技术现有的三维微位相差膜的检测技术，利用一个光罩(mask)将一个三维微位相差膜的一个单一位相差(retardation)区域之外的区域遮住，再利用位相差仪器量测对应于该三维微位相差膜的位相差值。请参阅图1，假设该三维微位相差膜对应一个结构纹理(texture)图样1，该结构纹理图样1内具有多个线条图案11、12，假设该单一位相...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。